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鈀靶材廠家帶你了解靶材
什么是靶材？
靶材是制備薄膜的主要材料之一，比如鍍膜靶材，通過磁控濺射，在適當的工藝條件下，濺射在基體上形成各種所需功能薄膜的濺射源。當然還有其它鍍膜工藝，比如真空離子鍍膜、蒸發鍍膜等等電鍍工藝。根據所需求工藝應用的不同，對靶材的種類選擇也不同。所以說得簡單一點，靶材就是真空電鍍材料爐里的靶，你也可以簡單理解為電鍍材料的一種。
靶材就材質分類而言分為三大類：
1. 金屬靶材 2.陶瓷靶材 3.合金靶材
在這里我們就不一一例舉出這幾種靶材材料的具體分類 品種，我們主要講下主要含有貴金屬的幾種靶材，比如銀靶Au、鈀靶Pd、鉑靶Pt、金靶等各種含有貴金屬的靶材。
什么是貴金屬靶材
貴金屬靶材就是采用精煉、粉末冶金、壓延加工或熔化鍛造制造而成的貴金屬靶材材料。是主要應用于半導體器件、存儲用的硬盤、平面顯示器等的布線和制備薄膜用的貴金屬濺射靶材材料。廣泛應用于集成電路和大規模集成電路。還有一些合金靶材用于磁記錄，比如CoPd、CoPt等。
半導體器件
在貴金屬靶材中其貴金屬的純度都在**以上主要應用在半導體行業與大規模的集成電路中，是電子信息產業中**的重要材料之一。比如金靶材應用于磁控濺射鍍膜，SEM金靶材用于掃描電鏡SEM設備。貴金屬靶材就形態品種而言根據行業應用的不同有顆粒狀、絲狀、塊狀、片狀等形狀尺寸大小不一，根據行業需求都是可以定做的。
為什么貴金屬靶材對純度要求這么高呢？主要是因為在半導體產業中，小小的芯片要處理的東西越來越多了，隨著工藝的發展對其純度要求也越來越高了。因為靶材的結晶粒子直徑和均勻性被認為是影響薄膜沉積率的關鍵因素。
金靶材
貴金屬靶材可以回收再利用嗎？
貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、銀靶材、鈀靶材等都可以回收再利用。以ITO銀靶材為例，生產加工時銀靶材會被打穿，產生的絲狀殘料這些都是可以回收再利用的，廢料上會沾染少量的銦，說是氧化用的，這種銦元素處理一下就可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這些貴金屬的靶材都可以回收再利用的，還有合金靶材之類的。
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